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Universitätsbibliographie | Universitätsbibliothek | TU Chemnitz

Ergebnis der Datenbankabfrage

Nr.	Titel	Autor	Jahr
1	Characterisation of MOS Transistors as an Electromechanical Transducer for Stress	Hafez, Nessma Ibrahim Kamel* et al.	2019
2	Novel negative tone spray-coatable photoresist for photolithography processing over high topographical steps	Arnold, Markus et al.	2017
3	Spray-coatable negative photoresist for high topography MEMS applications	Arnold, Markus* et al.	2017
4	Direktintegrierte Feldeffekttransistoren als elektromechanische Wandler für mechanische Spannungen an Balkenstrukturen	Haas, Sven et al.	2016
5	Electrical Analysis of Integrated Field Effect Transistors as Electromechanical Transducer for Stress	Hafez, Nessma et al.	2016
6	Elektrische Analyse von integrierten Feldeffekttransistoren als elektromechanische Wandler für mechanische Spannung	Hafez, Nessma et al.	2016
7	Novel through silicon wiring technology using dry etched sloping vertical terminals	Haas, Sven* et al.	2016
8	Stress Analysis in Semiconductor Devices by Kelvin Probe Force Microscopy	Sheremet, Evgeniya et al.	2016
9	Direct integrated strain sensors for robust temperature behaviour	Haas, Sven et al.	2015
10	RF MEMS Switch for Modulated Backscatter Communication	Gaitzsch, Markus et al.	2015
11	Analysis of Au metal–metal contacts in a lateral actuated RF MEMS switch	Gaitzsch, Markus et al.	2014
12	Direct Integration of Field Effect Transistors as Electro Mechanical Transducer for Stress	Haas, Sven et al.	2014
13	Integration von MOS-Transistoren als Wandler für mechanische Spannungen	Schramm, Michael et al.	2014
14	Analysis of metal-metal contacts in RF MEMS switches	Kurth, Steffen et al.	2013
15	Direktintegration von Feldeffekttransistoren als elektromechanische Wandler für mechanische Spannungen	Haas, Sven et al.	2013
16	Studies on the piezoresistive effect in MOS transistors for use in integrated MEMS sensors	Haas, Sven et al.	2013
17	Out of plane capacitive transducer in air gap insulation microstructures technology for high precision monolithic 3-axis sensors	Reuter, Danny et al.	2012
18	Untersuchungen zum piezoresistiven Effekt in MOS-Transistoren für die Anwendung in integrierten MEMS-Sensoren	Haas, Sven et al.	2012

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