Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Haas, Sven ; Schramm, Michael ; Heinz, Steffen ; Loebel, Kay-Uwe ; Reuter, Danny ; Bertz, Andreas ; Geßner, Thomas ; Horstmann, John Thomas
Untersuchungen zum piezoresistiven Effekt in MOS-Transistoren für die Anwendung in integrierten MEMS-Sensoren
Piezoresistive effect in field effect transistors for integrated MEMS sensors
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-039162-0 | |
| URL/URN: | http://www.tu-chemnitz.de/etit/leb/publik/docs/mst2012_fg7.pdf | |
| Quelle: | 11. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 23., 24. Oktober 2012, S. 105 - 107 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | piezoresistive effect , MOSFET , integrated MEMS sensor |
