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Nr. Titel Autor Jahr
1 A New Phase Diagram for Fluid Invasion Patterns as a Function of Pore-Scale Heterogeneity, Surface Roughness, and Wettability Geistlinger, Helmut* et al. 2024
2 About the Data Analysis of Optical Emission Spectra of Reactive Ion Etching Processes—The Method of Spectral Redundancy Reduction Haase, Micha* et al. 2024
3 Combining nano-scale imprint lithography and reactive ion etching to fabricate high-quality surface relief gratings Haase, Micha et al. 2024
4 Fabrication of switchable biocompatible, nano-fluidic devices using a thermoresponsive polymer on nano-patterned surfaces Bickmann, Christopher* et al. 2024
5 Impact of Dielectric Types on Surface Topography for Wafer-Level Hybrid Bonding Dubey, Vikas* et al. 2024
6 Navigating Complex Process and Design Challenges in Hybrid Bonding for Advanced Semiconductor Integration: A Comprehensive Analysis Dubey, Vikas* et al. 2024
7 Development of an e-beam/i-line stepper intra-level mix and match approach with the photoresist mr-EBL 6000.5 for PIC related structures such as waveguides, ring resonators and coupling structures Reinhardt, Markus et al. 2023
8 Fabrication and Integration of Quantum Dot Based Emitters for Smart Mechanical Watches Langenickel, Jörn et al. 2023
9 Integration of (Poly-Si/Air)n Distributed Bragg Reflectors in a 150 mm Bulk Micromachined Wafer-Level MOEMS Fabrication Process Helke, Christian* et al. 2023
10 Intra-level mix and match lithography with electron beam lithography and i-line stepper combined with resolution enhancement for structures below the CD-limit Helke, Christian* et al. 2023
11 Measuring Ion Energy Distributions by Retarding Field Energy Analyzer and Using Low-Energy Ions for Si-ALE by Cl2 Dittmar, Nils et al. 2023
12 Multichannel laser diode to polymer waveguide array coupling with a double-aspheric lens Kunze, Katharina* et al. 2023
13 Nanolithographic Fabrication Technologies for Network-Based Biocomputation Devices Meinecke, Christoph R.* et al. 2023
14 Tunable Fabry-Pérot interferometer integrated in a silicon waveguide of an on-chip optical platform for long infrared wavelengths Wecker, Julia et al. 2023
15 Biocomputation Using Molecular Agents Moving in Microfluidic Channel Networks: An Alternative Platform for Information Technology Blaudeck, Thomas* et al. 2022
16 Fabrication of Nanoimprint-Lithography masters for optical nano gratings Helke, Christian et al. 2022
17 High-resolution projection lithography for MEMS-applications using thick photoresist AZ 10XT Schermer, Sebastian et al. 2022
18 Hochauflösende Projektions-Lithografie für die Herstellung von MEMS-Strukturen mit hohem Aspekt-Verhältnis und für Nano-Imprint-Lithografie Mastern für optische Gitter Schermer, Sebastian et al. 2022
19 Integration von thermosensitiven Polymeren in nanoskalige Kanäle zur Realisierung von mikrofluidischen Schaltungen Bickmann, Ch. et al. 2022
20 Lithographic performance of resist ma-N 1402 in an e-beam/i-line stepper intra-level mix and match approach Canpolat-Schmidt, Cansu Hanim et al. 2022
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