Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Dittmar, Nils ; Berger, Birk ; Melzer, Marcel ; Küchler, Matthias ; Meinecke, Christoph ; Haase, Micha ; Reuter, Danny
Measuring Ion Energy Distributions by Retarding Field Energy Analyzer and Using Low-Energy Ions for Si-ALE by Cl2
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 979-8-3503-1097-9 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3503-1098-6 ; Electronic ISSN: 2380-6338 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 2380-632X | |
| DOI: | doi:10.1109/IITC/MAM57687.2023.10154736 | |
| Quelle: | 2023 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) and IEEE Materials for Advanced Metallization Conference (MAM)(IITC/MAM), 2023 May 22-25, Dresden (Germany),. - IEEE, 2023 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | atomic layer etching , ion energy distribution , damage-free etch , retarding field energy analyzer |
