Ergebnis der Datenbankabfrage

Nr.	Titel	Autor	Jahr
1	On the Feasibility of the BDRIE-HS* Technology for a MEMS Gyroscope	Forke, Roman et al.	2025
2	Measuring Ion Energy Distributions by Retarding Field Energy Analyzer and Using Low-Energy Ions for Si-ALE by Cl2	Dittmar, Nils et al.	2023
3	Tunable Fabry-Pérot interferometer integrated in a silicon waveguide of an on-chip optical platform for long infrared wavelengths	Wecker, Julia et al.	2023
4	The BDRIE-HS* Technology Approach for Tiny Motion Detection with Improved Sensitivity and Noise Performance	Forke, Roman et al.	2022
5	Beschleunigungssensoren mit großer Bandbreite und geringer Leistungsaufnahme für industrielle Anwendungen	Forke, Roman et al.	2019
6	Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von Silizium-Einzellagen mittels Atomlagenätzen	Dittmar, Nils A. et al.	2019
7	Evaporation Study Based on Micromodel Experiments: Comparison of Theory and Experiment	Geistlinger, Helmut* et al.	2019
8	Low Power High Bandwidth Acceleration Sensors	Forke, Roman et al.	2019
9	Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von SiO2-Monolagen mittels Fluorkohlenstoff	Dittmar, Nils et al.	2018
10	Novel through silicon wiring technology using dry etched sloping vertical terminals	Haas, Sven* et al.	2016
11	Erweiterungen und Anwendungen der BDRIE-Technologie zur Herstellung hermetisch gekapselter Sensoren mit hoher Güte	Hiller, Karla et al.	2013
12	Fortschritte in der Anwendung des tiefen Siliziumätzens (DRIE)	Küchler, Matthias et al.	2010