Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hiller, Karla ; Hahn, Susann ; Küchler, Matthias ; Billep, Detlef ; Forke, Roman ; Köhler, Daniel ; Konietzka, S. ; Pohle, A. ; Gessner, Thomas
Erweiterungen und Anwendungen der BDRIE-Technologie zur Herstellung hermetisch gekapselter Sensoren mit hoher Güte
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-3555-6 | |
| Quelle: | Mikrosystemtechnik-Kongress 2013, Aachen (Germany), 2013 Okt 14-16; Proceedings. - VDE-Verlag, 2013, pp 299-302 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Sensoren , Aktuatoren | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Bonding and deep RIE |
