Ergebnis der Datenbankabfrage
| Nr. | Titel | Autor | Jahr |
|---|---|---|---|
| 1 | Development and characterization of a high precision vibratory MEMS gyroscope system with low-noise integrated readout and control electronics | Koehler, Daniel et al. | 2013 |
| 2 | Erweiterungen und Anwendungen der BDRIE-Technologie zur Herstellung hermetisch gekapselter Sensoren mit hoher Güte | Hiller, Karla et al. | 2013 |
| 3 | Development and Characterization of a high precision vibratory MEMS gyroscope system with low-noise integrated readout and control electronics | Koehler, D. et al. | 2012 |
| 4 | Sensorsignalverarbeitung zur Anregung, Kalibrierung und Auswertung von MEMS-Gyroskopen | Koehler, D. et al. | 2010 |
| Anzahl der Ergebnisseiten: | 1 |
| Anzahl der Dokumente: | 4 |