Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Koehler, D. ; Hiller, Karla ; Forke, Roman ; Konietzka, S. ; Pohle, A. ; Billep, Detlef ; Heinz, S. ; Lange, A.
Development and Characterization of a high precision vibratory MEMS gyroscope system with low-noise integrated readout and control electronics
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-039162-0 | |
| Quelle: | 11. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik-, Mikromechanik & Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2012 Oct 23-24, P14, S. 143 - 144 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | high precision vibratory MEMS gyroscope system |
