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Nr. Titel Autor Jahr
1 Additive Fertigung gradierter Nanoverbundwerkstoffe für das Fügen mikroelektronischer Komponenten Seifert, Tobias et al. 2023
2 Efficient Quadrature Suppression for Improved Performance of a MEMS Vibratory Gyroscope Forke, Roman et al. 2023
3 Inductive Heating Based on VHF-ISM Radio Band Frequencies as Technology Platform for Efficient Heating of Metallic Micro-Scaled Bonding Layers in MEMS Packaging Hofmann, Christian* et al. 2023
4 Inductive heating based on VHF-ISM radio band frequencies as technology platform for efficient heating of metallic micro-scaled bonding layers in MEMS packaging Hofmann, Christian et al. 2023
5 Inductive Sintering of Silver Micro Particles for Bonding of Microelectronic Components Rochala, Patrick* et al. 2023
6 Induktives Solid-Liquid-Interdiffusionsbonden auf Basis miniaturisierter Induktionsspulen für die Mikrosystemtechnik Hofmann, Christian et al. 2023
7 Integration of (Poly-Si/Air)n Distributed Bragg Reflectors in a 150 mm Bulk Micromachined Wafer-Level MOEMS Fabrication Process Helke, Christian* et al. 2023
8 MEMS-Based Fingerprinting Architecture for Trustworthy Electronics Meinel, Katja et al. 2023
9 Tunable Fabry-Pérot interferometer integrated in a silicon waveguide of an on-chip optical platform for long infrared wavelengths Wecker, Julia et al. 2023
10 High-G Acceleration Sensors for the Automotive Industry Pregl, Sebastian et al. 2022
11 Localized Induction Heating of Cu-Sn Layers for Rapid Solid-Liquid Interdiffusion Bonding Based on Miniaturized Coils Hofmann, Christian* et al. 2022
12 MEMS-basierte Fingerprint-Architektur für Vertrauenswürdige Elektronik Schott, Christian et al. 2022
13 Mikromechanisch strukturierter, CMOS-kompatibler pyroelektrischer Detektor auf der Basis von dotiertem HfO2 in Trenchzellen Mutschall, Doris et al. 2022
14 Modular Probecard-Measurement Equipment for Automated Wafer-Level Characterization of High Precision MEMS Gyroscopes Weidlich, Sebastian et al. 2022
15 Multi-Mode Silicon Waveguides at Long Infrared Wavelengths Wecker, Julia et al. 2022
16 Nanolot - gradierte Nanoverbundwerkstoffe mit funktionsorientierten Eigenschaften zur Verarbeitung mit additiven Fertigungstechnologien Seifert, Tobias et al. 2022
17 Nordsuche - Performance Demonstration für Präzisions-MEMS-Gyroskope Bülz, Daniel et al. 2022
18 Optimal design configuration for aluminum pillar fabrication towards fine pitch ultrasonic bonding applications Cirulis, Imants et al. 2022
19 Resistive switching in ferroelectric polycrystalline Yttrium Manganese Oxide thin films Rayapati, Venkata Rao 2022
20 Static High Voltage Actuation of Piezoelectric AlN and AlScN Based Scanning Micromirrors Stöckel, Chris* et al. 2022
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