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Nr. Titel Autor Jahr
1 Advancement in the Mems Gyroscope from a Vibrating Tuning Fork to a Tuned Ring with Comb Electrodes Forke, Roman et al. 2024
2 Characterization of Thin AlN/Ag/AlN-Reflector Stacks on Glass Substrates for MEMS Applications Behl, Christian* et al. 2024
3 Additive Fertigung gradierter Nanoverbundwerkstoffe für das Fügen mikroelektronischer Komponenten Seifert, Tobias et al. 2023
4 Efficient Quadrature Suppression for Improved Performance of a MEMS Vibratory Gyroscope Forke, Roman et al. 2023
5 Inductive Heating Based on VHF-ISM Radio Band Frequencies as Technology Platform for Efficient Heating of Metallic Micro-Scaled Bonding Layers in MEMS Packaging Hofmann, Christian* et al. 2023
6 Inductive heating based on VHF-ISM radio band frequencies as technology platform for efficient heating of metallic micro-scaled bonding layers in MEMS packaging Hofmann, Christian et al. 2023
7 Inductive Sintering of Silver Micro Particles for Bonding of Microelectronic Components Rochala, Patrick* et al. 2023
8 Induktives Solid-Liquid-Interdiffusionsbonden auf Basis miniaturisierter Induktionsspulen für die Mikrosystemtechnik Hofmann, Christian et al. 2023
9 Integration of (Poly-Si/Air)n Distributed Bragg Reflectors in a 150 mm Bulk Micromachined Wafer-Level MOEMS Fabrication Process Helke, Christian* et al. 2023
10 MEMS-Based Fingerprinting Architecture for Trustworthy Electronics Meinel, Katja et al. 2023
11 Tunable Fabry-Pérot interferometer integrated in a silicon waveguide of an on-chip optical platform for long infrared wavelengths Wecker, Julia et al. 2023
12 High-G Acceleration Sensors for the Automotive Industry Pregl, Sebastian et al. 2022
13 Localized Induction Heating of Cu-Sn Layers for Rapid Solid-Liquid Interdiffusion Bonding Based on Miniaturized Coils Hofmann, Christian* et al. 2022
14 MEMS-basierte Fingerprint-Architektur für Vertrauenswürdige Elektronik Schott, Christian et al. 2022
15 Mikromechanisch strukturierter, CMOS-kompatibler pyroelektrischer Detektor auf der Basis von dotiertem HfO2 in Trenchzellen Mutschall, Doris et al. 2022
16 Modular Probecard-Measurement Equipment for Automated Wafer-Level Characterization of High Precision MEMS Gyroscopes Weidlich, Sebastian et al. 2022
17 Multi-Mode Silicon Waveguides at Long Infrared Wavelengths Wecker, Julia et al. 2022
18 Nanolot - gradierte Nanoverbundwerkstoffe mit funktionsorientierten Eigenschaften zur Verarbeitung mit additiven Fertigungstechnologien Seifert, Tobias et al. 2022
19 Nordsuche - Performance Demonstration für Präzisions-MEMS-Gyroskope Bülz, Daniel et al. 2022
20 Optimal design configuration for aluminum pillar fabrication towards fine pitch ultrasonic bonding applications Cirulis, Imants et al. 2022
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