Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hofmann, Christian ; Kroll, Martin ; Panhale, Sushant ; Wiemer, Maik ; Kunke, Andreas ; Hiller, Karla ; Kuhn, Harald
Inductive heating based on VHF-ISM radio band frequencies as technology platform for efficient heating of metallic micro-scaled bonding layers in MEMS packaging
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Umformtechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 979-8-3503-3836-2 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3503-3837-9 | |
| DOI: | doi:10.1109/intermagshortpapers58606.2023.10228241 | |
| Quelle: | 2023 IEEE International Magnetic Conference - Short Papers (INTERMAG Short Papers), Sendai, Japan, 15 - 19. May 2023, pp. 1-2. - IEEE, 2023 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Elektromagnetische Induktion , mikroelektromechanische Systeme , Elektronikgehäuse , Hochfrequenz , selektive Erwärmung | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | electromagnetic induction , microelectromechanical systems , elctronics packaging , radio frequenzy , selective heating |
