Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Forke, Roman ; Shaporin, Alexey ; Weidlich, Sebastian ; Bülz, Daniel ; Hiller, Karla ; Kuhn, Harald
Efficient Quadrature Suppression for Improved Performance of a MEMS Vibratory Gyroscope
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 978-1-6654-5147-5 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 978-1-6654-5148-2 ; Electronic ISSN: 2377-3480 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 2377-3464 | |
| DOI: | doi:10.1109/INERTIAL56358.2023.10103983 | |
| Quelle: | 2023 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL), 2023 March 28-31, Lihue (HI, USA). - IEEE, 2023 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | MEMS , Gyroskop , Drehrate , Sensor , Quadraturunterdrückung , Kompensation , BDRIE , Hohlraum-SOI , HAR | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , gyroscope , angular rate , sensor , quadrature suppression , compensation , BDRIE , cavity-SOI , HAR | |
Bemerkung: |
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