Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Tsukamoto, Takashiro ; Forke, Roman ; Weidlich, Sebastian ; Bülz, Daniel ; Shaporin, Alexey ; Hiller, Karla ; Tanaka, Shuji
Mode Localization and Frequency Modulation Sensing Using Superposed in-Phase and Anti-Phase Oscillations
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 979-8-3503-5792-9 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3503-5793-6 ; Electronic ISSN: 2160-1968 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 1084-6999 | |
| DOI: | doi:10.1109/MEMS58180.2024.10439528 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=10439528 | |
| Quelle: | 2024 IEEE 37th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2024 January 21-25, Austin, TX, (USA). - IEEE Xplore, 2024 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Modus Lokalisierung , Frequenzmodulation , Eigenmodentrennung und Überlagerung , Modenseparator , Messung der Temperatur , Frequenzmodulation , Empfindlichkeit , Form , Partikelabscheider , Resonanzfrequenz , IP-Netzwerke | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Mode localization , Frequency modulation , Eigenmode separation and superposition , Mode separator , Temperature measurement , Frequency modulation , Sensitivity , Shape , Particle separators , Resonant frequency , IP networks |
