Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Forke, Roman ; Tsukamoto, Takashiro ; Shaporin, Alexey ; Weidlich, Sebastian ; Bülz, Daniel ; Hahn, Susann ; Tanaka, Shuji ; Hiller, Karla
Advancement in the Mems Gyroscope from a Vibrating Tuning Fork to a Tuned Ring with Comb Electrodes
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 979-8-3503-1669-8 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3503-1670-4 ; Electronic ISSN: 2377-3480 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 2377-3464 | |
| DOI: | doi:10.1109/INERTIAL60399.2024.10502098 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=10502098 | |
| Quelle: | 2024 IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (INERTIAL), 2024 March 25-28, Hiroshima (Japan). - IEEE Xplore, 2024 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | MEMS , Ringgyroskop , Winkelgeschwindigkeit , Sensor , FM-Modus , BDRIE , Cavity-SOI , HAR , Schwingungen , Strukturringe , Mikromechanische Bauelemente , Elektroden , Empfindlichkeit , Trägheitssensoren , Gyroskope | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , ring gyroscope , angular rate , sensor , FM mode , BDRIE , cavity-SOI , HAR , Vibrations , Structural rings , Micromechanical devices , Electrodes , Sensitivity , Inertial sensors , Gyroscopes |
