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Nr. Titel Autor Jahr
1 MEMS-Based Fingerprinting Architecture for Trustworthy Electronics Meinel, Katja et al. 2023
2 Tunable Fabry-Pérot interferometer integrated in a silicon waveguide of an on-chip optical platform for long infrared wavelengths Wecker, Julia et al. 2023
3 High-G Acceleration Sensors for the Automotive Industry Pregl, Sebastian et al. 2022
4 MEMS-basierte Fingerprint-Architektur für Vertrauenswürdige Elektronik Schott, Christian et al. 2022
5 Multi-Mode Silicon Waveguides at Long Infrared Wavelengths Wecker, Julia et al. 2022
6 Nordsuche - Performance Demonstration für Präzisions-MEMS-Gyroskope Bülz, Daniel et al. 2022
7 The BDRIE-HS* Technology Approach for Tiny Motion Detection with Improved Sensitivity and Noise Performance Forke, Roman et al. 2022
8 North finding with a single double mass MEMS gyroscope- A performance demonstrator Bülz, Daniel et al. 2021
9 Beschleunigungssensoren mit großer Bandbreite und geringer Leistungsaufnahme für industrielle Anwendungen Forke, Roman et al. 2019
10 Design, Modeling, Fabrication, and Verification of New Multifunctional MEMS/NEMS Components Freitag, Markus* et al. 2019
11 Entwurf, Fabrikation und Test einer 3-DOF-Positionierplattform mit thermischen Aktoren Voigt, Sebastian et al. 2019
12 Highly Miniaturized MEMS‐Based Test Platforms for Thermo‐Mechanical and Reliability Characterization of Nano‐Functional Elements − Technology and Functional Test Results Meszmer, Peter* et al. 2019
13 Low Power High Bandwidth Acceleration Sensor For Industrial Applications Forke, Roman et al. 2019
14 Low Power High Bandwidth Acceleration Sensors Forke, Roman et al. 2019
15 Entwicklung von Schwingungssensoren auf MEMS-Basis für Condition Monitoring Systeme im Maschinen- und Anlagenbau Dittrich, C. et al. 2018
16 Implantable hemodynamic controlling system with a highly miniaturized two axis acceleration sensor Baum, Mario et al. 2017
17 Yet Another Tuning Fork Gyroscope Forke, Roman et al. 2015
18 High Precision Vibratory MEMS Gyroscope Billep, Detlef et al. 2014
19 Erweiterungen und Anwendungen der BDRIE-Technologie zur Herstellung hermetisch gekapselter Sensoren mit hoher Güte Hiller, Karla et al. 2013
20 A micro-SPM head array with exchangeable cantilevers Gao, Sai et al. 2012
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