Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Forke, Roman ; Hiller, Karla ; Hahn, Susann ; Konietzka, Stefan ; Motl, Tim ; Köhler, Daniel ; Heinz, Steffen ; Billep, Detlef ; Gessner, Thomas
Yet Another Tuning Fork Gyroscope
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-4799-5915-0 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/ISISS.2015.7102359 | |
| Quelle: | IEEE International Symposium on Inertial Sensors and Systems (ISISS 2015), Hapuna Beach, HI (USA), 2015 Mar 23-26; Proceedings, pp 5-8, 2015 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS , micromechanical tuning fork gyroscope , BDRIE , Q-factor , wafer-level hermetic sealing , analog/mixed-signal ASIC |
