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Nr. Titel Autor Jahr
1 Comparison of different device concepts to increase the operating voltage of a trench isolated SOI technology to above 900V Lerner, Ralf* et al. 2015
2 Yet Another Tuning Fork Gyroscope Forke, Roman et al. 2015
3 High Precision Vibratory MEMS Gyroscope Billep, Detlef et al. 2014
4 Integration von MOS-Transistoren als Wandler für mechanische Spannungen Schramm, Michael et al. 2014
5 Using SOI capabilities to increase breakdown voltages from < 600 V to > 900 V Lerner, Ralf et al. 2014
6 A monolithic integrated MEMS in a 350nm technology for filter monitoring applications Heinz, Steffen et al. 2013
7 Development and characterization of a high precision vibratory MEMS gyroscope system with low-noise integrated readout and control electronics Koehler, Daniel et al. 2013
8 Development and Characterization of a High Precision Vibratory MEMS Gyroscope with Low-noise integrated Readout and Control Electronics Köhler, Daniel et al. 2013
9 Studies on the piezoresistive effect in MOS transistors for use in integrated MEMS sensors Haas, Sven et al. 2013
10 A monolithic integrated MEMS in a 350 nm technology for filter monitoring applications Neubert, Marco et al. 2012
11 Untersuchungen zum piezoresistiven Effekt in MOS-Transistoren für die Anwendung in integrierten MEMS-Sensoren Haas, Sven et al. 2012
12 Combining CMOS and MEMS technologies in a monolithic system for observing filter pollutions Heinz, Steffen et al. 2011
13 Hochpräzise integrierte Sensorsignalverarbeitung zur Anregung, Kalibrierung und Auswertung von MEMS-Gyroskopen Köhler, Daniel et al. 2010
14 Optimization of Trench Manufacturing for a new High-Voltage Semiconductor Technology Fritzsch, Matthias et al. 2010
15 Single Trench Isolation for a 650 V SOI Technology with Low Mechanical Stress Kittler, Gabriel et al. 2010
16 The Charge Sensing Device Approach - Sensors for Textile Machines using the natural electrostatic Charge of the Yarn Heinz, Steffen et al. 2010
17 Integrierte Hochvolt-Schaltungstechnik: Ansteuerschaltungen für Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb Heinz, Steffen 2008
18 Time dependent isolation capability of high voltage deep trench isolation Lerner, Ralf et al. 2008
19 High-Voltage Amplifier Design for MEMS based Switching Arrays in Wavelength-Division Multiplexing Networks Heinz, Steffen et al. 2007
20 Modeling the Leakage Current of Dielectric Isolation Structures in a High-Voltage Semiconductor Technology Lange, André et al. 2007
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