Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Fritzsch, Matthias ; Schramm, Michael ; Erler, Klaus ; Heinz, Steffen ; Horstmann, John Thomas ; Eckoldt, Uwe ; Kittler, Gabriel ; Lerner, Ralf ; Schottmann, Klaus
Optimization of Trench Manufacturing for a new High-Voltage Semiconductor Technology
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-4244-6391-6 | |
| Quelle: | IEEE International Symposium on Industrial Electronics (ISIE-2010), Bari, Italy, July 4-7, 2010, S. 974 - 978 |
