Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Schramm, Michael ; Haas, Sven ; Reuter, Danny ; Loebel, Kay-Uwe ; Heinz, Steffen ; Bertz, Andreas ; Horstmann, John Thomas ; Geßner, Thomas
Integration von MOS-Transistoren als Wandler für mechanische Spannungen
Integration of MOS Transistors as Transducer for Mechanical Stress
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzabstract | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 0420-0195 | |
| Quelle: | DPG-Frühjahrstagung of the Condensed Matter Section, 30.3.-4.4.2014, Dresden, 2014 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | mechanical tension , piezoresistive effect , MOS transistor , carrier mobility |
