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Nr. Titel Autor Jahr
1 Micro Electrical Mechanical System (MEMS), Gap Reduction, laser-micro-welding Meinecke, Christoph Robert et al. 2015
2 Technologieentwicklung einer post-process Elektrodenspaltverringerung zur Herstellung von hochauflösenden Sensorsystemen Meinecke, Christoph Robert et al. 2015
3 AIM Technology and Devices – from Basic Research to Industrial Proven MEMS Platform Bertz, Andreas et al. 2014
4 Direct Integration of Field Effect Transistors as Electro Mechanical Transducer for Stress Haas, Sven et al. 2014
5 Integration von MOS-Transistoren als Wandler für mechanische Spannungen Schramm, Michael et al. 2014
6 Technologieentwicklung, Herstellung und Charakterisierung von hochauflösenden Inertialsystemen Meinecke, Christoph R. et al. 2014
7 Analysis of metal-metal contacts in RF MEMS switches Kurth, Steffen et al. 2013
8 Direktintegration von Feldeffekttransistoren als elektromechanische Wandler für mechanische Spannungen Haas, Sven et al. 2013
9 Highly Reliable and Low Voltage Actuated Ohmic RF MEMS Switch with Wafer Level Packaging Kurth, Steffen et al. 2013
10 Studies on the piezoresistive effect in MOS transistors for use in integrated MEMS sensors Haas, Sven et al. 2013
11 Technologieentwicklung für optimiertes MEMS Packaging durch Si-TSV-Rückseitenkontaktierung Meinecke, Christoph et al. 2013
12 Verfahren zur Fixierung einer beweglichen Komponente eines mikromechanischen Bauelementes Bertz, Andreas et al. 2013
13 Micro arc welding for electrode gap reduction of high aspect ratio microstructures Nowack, Markus et al. 2012
14 Out of plane capacitive transducer in air gap insulation microstructures technology for high precision monolithic 3-axis sensors Reuter, Danny et al. 2012
15 Untersuchungen zum piezoresistiven Effekt in MOS-Transistoren für die Anwendung in integrierten MEMS-Sensoren Haas, Sven et al. 2012
16 Autarkes Sensornetzwerk zur Überwachung von Hochspannungsleitungen Voigt, Sven et al. 2011
17 HF-MEMS Schalter mit ohmschen Kontakt und lateraler Bewegungsrichtung Leidich, Stefan et al. 2011
18 Kapazitiver MEMS-Mischer und Signalfilter für wake up receiver Kurth, Steffen et al. 2011
19 Lokales Mikroschweißen als post-process Technologie zur permanenten Reduzierung des Elektrodenabstandes von HARMS Nowack, Markus et al. 2011
20 Novel Post-Process Gap Reduction Technology of High Aspect Ratio Microstructures Utilizing Micro Welding Nowack, Markus et al. 2011
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