Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Nowack, Markus ; Leidich, Stefan ; Reuter, Danny ; Kurth, Steffen ; Kuechler, Matthias ; Bertz, Andreas ; Gessner, Thomas
Novel Post-Process Gap Reduction Technology of High Aspect Ratio Microstructures Utilizing Micro Welding
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-4577-0156-6 | |
| Quelle: | Transducers 11, Beijing (China), 2011 Jun 5-9; Proceedings, pp 1352-1355 |
