Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Bertz, Andreas ; Schulz, Stefan E.
Verfahren zur Fixierung einer beweglichen Komponente eines mikromechanischen Bauelementes
Fixation method for movable components of micromechanical devices
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Patent (Offenlegungsschrift, Patentschrift, Gebrauchsmusterschrift) | |
| Veröffentlichungsnummer: | DE102012010549A1 | |
| Veröffentlichungsdatum | 05.12.2013 | |
| Internationale Patentklassifikation | B81C 1/00 | |
| Nachanmeldungen in anderen Staaten | WO2013/178343 |
