Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Haas, Sven ; Schramm, M. ; Loebel, K.-U. ; Reuter, D. ; Bertz, Andreas ; Horstmann, T. ; Gessner, Thomas
Direktintegration von Feldeffekttransistoren als elektromechanische Wandler für mechanische Spannungen
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Institut 3: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-3555-6 | |
| Quelle: | Mikrosystemtechnik Kongress 2013, Aachen, 2013 Okt 14-16, 2013 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Feldeffekttransistoren |
