Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Haas, Sven ; Schramm, Michael ; Reuter, Danny ; Loebel, Kay-Uwe ; Bertz, Andreas ; Horstmann, John Thomas ; Geßner, Thomas
Direct Integration of Field Effect Transistors as Electro Mechanical Transducer for Stress
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-1-4673-5220-8 | |
| URL/URN: | doi:10.1109/ICSensT.2013.6727679 | |
| Quelle: | 7th International Conference on Sensing Technology, Dec. 3 - Dec. 5, 2013, Wellington, New Zealand, 2014, pp 379 - 382 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MOSFET , stress transducer , piezoelectric effect |
