Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kurth, Steffen ;
Nowack, Markus ;
Voigt, Sven ;
Bertz, Andreas ;
Frömel, Jörg ;
Kaufmann, Christian ;
Gessner, Thomas ;
Akiba, A. ;
Ikeda, K.
Akin,Tayfun ; Muller, Alexander ; Dascalu, Dan ; Sorrentino Roberto
Highly Reliable and Low Voltage Actuated Ohmic RF MEMS Switch with Wafer Level Packaging
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Buchbeitrag | |
| ISBN/ISSN: | ISBN 978-973-27-2311-1 | |
| Quelle: | In: Akin,Tayfun ; Muller, Alexander ; Dascalu, Dan ; Sorrentino Roberto: RF MEMS Technologies: Recent Developments. - Bucuresti, Romania : Editura Academiei Romane, 2013, S. 173-182 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS |
