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Nr. Titel Autor Jahr
1 Full-Field IR-Thermography for Bond-Quality Inspection of Electroplated Aluminium Interconnects for Cryo-SiP Architectures Wunderle, Bernhard et al. 2024
2 High precision electrostatic MEMS actuators for in-plane Fabry-Pérot gas sensors Shaporin, Alexey* et al. 2024
3 Untersuchungen zur Anwendung strukturintegrierter Resonatorarrays für das Erkennen stofflicher Veränderungen in polymerbasierten Leichtbaumaterialien Großmann, Toni Dirk 2024
4 Integration of (Poly-Si/Air)n Distributed Bragg Reflectors in a 150 mm Bulk Micromachined Wafer-Level MOEMS Fabrication Process Helke, Christian* et al. 2023
5 Tunable Fabry-Pérot interferometer integrated in a silicon waveguide of an on-chip optical platform for long infrared wavelengths Wecker, Julia et al. 2023
6 Multi-Mode Silicon Waveguides at Long Infrared Wavelengths Wecker, Julia et al. 2022
7 A MEMS IR optical chopper based on subwavelength structures Kurth, Steffen et al. 2019
8 Integration of plasmonic nanostructures for micro-opto-electromechanical-systems Heldt, Georg et al. 2019
9 Mikro- und Nanotechnologien zur Herstellung steuerbarer optischer Filter Hiller, Karla et al. 2019
10 Nanostructured al SWG Reflectors on thin LP-Si3N4 Membranes as (TiO2/SiO2)³ Bragg Reflector Alternative for Vis Fabry-Pérot Interferometers Helke, Christian* et al. 2019
11 Next Generation of Highly Miniaturized Bulk-Mems Fabry-Pérot Filters For Infrared Microspectrometers Ebermann, Martin* et al. 2019
12 Reflection based Strain Sensing using Metamaterials Großmann, Toni D. et al. 2019
13 Technologien zur Integration von Metaflächen Großmann, Toni et al. 2019
14 VIS Fabry-Pérot Interferometer with structured (TiO2/PE-SiO2)³ Bragg-reflectors on 5mm large LP-Si3N4 membranes Helke, Christian et al. 2019
15 Integrated Microsystems for Smart Applications Otto, Thomas* et al. 2018
16 Metamaterial based Sensor Approach for Passive StructuralHealth Monitoring of Lightweight Structures Großmann, Toni Dirk et al. 2018
17 Challenges of nanostructure-integration in Fabry-Pérot interferometers as alternative to Bragg reflectors: an example for Match 1:1-, eBeam-, and nanoimprint lithography Helke, Christian et al. 2017
18 Integrierte Geschäftsmodell- und Technologieentwicklung für smarte Systeme und Strukturen Götze, Uwe et al. 2017
19 Large-scale fabrication of LP-CVD Si3N4 photonic crystal structures as freestanding reflectors with 1 mm aperture for Fabry-Pérot interferometers Helke, Christian et al. 2017
20 Millimeterwellen-Sensorsystem zur Messung der Sauerstoffkonzentration in Gasen Wecker, Julia et al. 2017
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