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Nr. Titel Autor Jahr
1 A MEMS IR optical chopper based on subwavelength structures Kurth, Steffen et al. 2019
2 Integration of plasmonic nanostructures for micro-opto-electromechanical-systems Heldt, Georg et al. 2019
3 Mikro- und Nanotechnologien zur Herstellung steuerbarer optischer Filter Hiller, Karla et al. 2019
4 Nanostructured al SWG Reflectors on thin LP-Si3N4 Membranes as (TiO2/SiO2)³ Bragg Reflector Alternative for Vis Fabry-Pérot Interferometers Helke, Christian* et al. 2019
5 Next Generation of Highly Miniaturized Bulk-Mems Fabry-Pérot Filters For Infrared Microspectrometers Ebermann, Martin* et al. 2019
6 Reflection based Strain Sensing using Metamaterials Großmann, Toni D. et al. 2019
7 Technologien zur Integration von Metaflächen Großmann, Toni et al. 2019
8 VIS Fabry-Pérot Interferometer with structured (TiO2/PE-SiO2)³ Bragg-reflectors on 5mm large LP-Si3N4 membranes Helke, Christian et al. 2019
9 Integrated Microsystems for Smart Applications Otto, Thomas* et al. 2018
10 Metamaterial based Sensor Approach for Passive StructuralHealth Monitoring of Lightweight Structures Großmann, Toni Dirk et al. 2018
11 Challenges of nanostructure-integration in Fabry-Pérot interferometers as alternative to Bragg reflectors: an example for Match 1:1-, eBeam-, and nanoimprint lithography Helke, Christian et al. 2017
12 Integrierte Geschäftsmodell- und Technologieentwicklung für smarte Systeme und Strukturen Götze, Uwe et al. 2017
13 Large-scale fabrication of LP-CVD Si3N4 photonic crystal structures as freestanding reflectors with 1 mm aperture for Fabry-Pérot interferometers Helke, Christian et al. 2017
14 Millimeterwellen-Sensorsystem zur Messung der Sauerstoffkonzentration in Gasen Wecker, Julia et al. 2017
15 Realisation of Sensitive Functionality by Integration of Electromagnetic Resonators in Composite Materials Großmann, Toni Dirk et al. 2017
16 Realisierung von smarten Strukturen mit sensorischer Funktion durch Integration elektromagnetischer Resonatoren in hybride Materialien Großmann, Toni Dirk et al. 2017
17 Realization of Sensitive Functionality by the Integration of Electromagnetic Resonators in Composite Materials Großmann, Toni Dirk et al. 2017
18 Elektronenstrahl-lithographisch erzeugte Nanostrukturen für optische Mikrosysteme Heldt, Georg et al. 2016
19 MEMS Tunable Fabry-Pérot Filters for Infrared Microspectrometer Applications Neumann, Norbert et al. 2016
20 Novel through silicon wiring technology using dry etched sloping vertical terminals Haas, Sven* et al. 2016
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