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Nr. Titel Autor Jahr
1 Untersuchungen zur Anwendung strukturintegrierter Resonatorarrays für das Erkennen stofflicher Veränderungen in polymerbasierten Leichtbaumaterialien Großmann, Toni Dirk 2024
2 Integration of (Poly-Si/Air)n Distributed Bragg Reflectors in a 150 mm Bulk Micromachined Wafer-Level MOEMS Fabrication Process Helke, Christian* et al. 2023
3 Tunable Fabry-Pérot interferometer integrated in a silicon waveguide of an on-chip optical platform for long infrared wavelengths Wecker, Julia et al. 2023
4 Multi-Mode Silicon Waveguides at Long Infrared Wavelengths Wecker, Julia et al. 2022
5 A MEMS IR optical chopper based on subwavelength structures Kurth, Steffen et al. 2019
6 Integration of plasmonic nanostructures for micro-opto-electromechanical-systems Heldt, Georg et al. 2019
7 Mikro- und Nanotechnologien zur Herstellung steuerbarer optischer Filter Hiller, Karla et al. 2019
8 Nanostructured al SWG Reflectors on thin LP-Si3N4 Membranes as (TiO2/SiO2)³ Bragg Reflector Alternative for Vis Fabry-Pérot Interferometers Helke, Christian* et al. 2019
9 Next Generation of Highly Miniaturized Bulk-Mems Fabry-Pérot Filters For Infrared Microspectrometers Ebermann, Martin* et al. 2019
10 Reflection based Strain Sensing using Metamaterials Großmann, Toni D. et al. 2019
11 Technologien zur Integration von Metaflächen Großmann, Toni et al. 2019
12 VIS Fabry-Pérot Interferometer with structured (TiO2/PE-SiO2)³ Bragg-reflectors on 5mm large LP-Si3N4 membranes Helke, Christian et al. 2019
13 Integrated Microsystems for Smart Applications Otto, Thomas* et al. 2018
14 Metamaterial based Sensor Approach for Passive StructuralHealth Monitoring of Lightweight Structures Großmann, Toni Dirk et al. 2018
15 Challenges of nanostructure-integration in Fabry-Pérot interferometers as alternative to Bragg reflectors: an example for Match 1:1-, eBeam-, and nanoimprint lithography Helke, Christian et al. 2017
16 Integrierte Geschäftsmodell- und Technologieentwicklung für smarte Systeme und Strukturen Götze, Uwe et al. 2017
17 Large-scale fabrication of LP-CVD Si3N4 photonic crystal structures as freestanding reflectors with 1 mm aperture for Fabry-Pérot interferometers Helke, Christian et al. 2017
18 Millimeterwellen-Sensorsystem zur Messung der Sauerstoffkonzentration in Gasen Wecker, Julia et al. 2017
19 Realisation of Sensitive Functionality by Integration of Electromagnetic Resonators in Composite Materials Großmann, Toni Dirk et al. 2017
20 Realisierung von smarten Strukturen mit sensorischer Funktion durch Integration elektromagnetischer Resonatoren in hybride Materialien Großmann, Toni Dirk et al. 2017
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