Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Ebermann, Martin* ; Neumann, Norbert ; Hoppe, Silke ; Hiller, Karla ; Seiler, Jan ; Helke, Christian ; Meinig, Marco ; Kurth, Steffen
Next Generation of Highly Miniaturized Bulk-Mems Fabry-Pérot Filters For Infrared Microspectrometers
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
ISBN/ISSN: | 978-1-5386-8104-6 , 978-1-5386-8105-3 , 2167-0021 , 2167-0013 | |
DOI: | doi:10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808566 | |
URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/8808566 | |
Quelle: | 20th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems & Eurosensors XXXIII (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII), 2019 June 23-27, Berlin, (Germany), pp. 470-473. - IEEE Xplore Digital Library, 2019 | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | Optical filters , Detectors , Optical device fabrication , Tuning , Optical reflection , Optical sensors , MEMS Fabry-Pérot tunable filter , infrared micro-spectrometer , spectral sensor , infrared spectroscopy |