Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hiller, Karla ; Helke, Christian ; Seifert, Mario ; Seiler, Jan ; Kurth, Steffen ; Meinig, Marco ; Otto, Thomas
Mikro- und Nanotechnologien zur Herstellung steuerbarer optischer Filter
Micro- and Nanotechnologies to fabrication of taxable optical filters
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-5090-0 , 978-3-8007-5129-7 (E-Book) | |
| Quelle: | MikroSystemTechnik Kongress, 2019 Okt 28.-30., Berlin (Germany), S. 107-110. - Berlin/Offenbach : VDE-Verlag, 2019 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | optical filters |
