Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Helke, Christian ; Hiller, Karla ; Werner, Thomas ; Reuter, Danny ; Meinig, Marco ; Kurth, Steffen ; Nowak, Christoph ; Kleinjans, Herberth ; Otto, Thomas
Large-scale fabrication of LP-CVD Si3N4 photonic crystal structures as freestanding reflectors with 1 mm aperture for Fabry-Pérot interferometers
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 0277-786X | |
| DOI: | doi:10.1117/12.2271683 | |
| Quelle: | SPIE Optics+Photonics/Nanoengineering: Fabrication, Properties, Optics, and Devices XIV, San Diego (USA), 2017 Aug 5-10; Proceedings, Vol.10354 (2017), pp 1-11 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | reflectors , reflectivity , Microelectromechanical systems , Photonic crystals , Nanoimprint lithography , Nanostructures |
