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Nr. Titel Autor Jahr
1 2D Scanning Micromirror with Large Scan Angle and Monolithically Integrated Angle Sensors Based On Piezoelectric Thin Film Aluminum Nitride Meinel, Katja* et al. 2020
2 A Platform for Fostering Industry-Academia Collaboration Otto, Thomas 2020
3 Parylene C Based Adhesive Bonding on 6" and 8" Wafer Level for the Realization of Highly Reliable and Fully Biocompatible Microsystems Selbmann, Franz et al. 2020
4 Piezoelectric scanning micromirror with built-in sensors based on thin film aluminum nitride Meinel, Katja et al. 2020
5 The Systematic Study of Fan-Out Wafer Warpage Using Analytical, Numerical and Experimental Methods Gadhiya, Ghanshyam et al. 2020
6 Virtual Prototyping, Design for Reliability, and Qualification for a Full SiP Product Portfolio of a FOWLP Line Gadhiya, Ghanshyam* et al. 2020
7 A MEMS IR optical chopper based on subwavelength structures Kurth, Steffen et al. 2019
8 A Novel Indirect Quasi-Static Actuation Concept for 2D MEMS Micromirrors Kaupmann, Philip* et al. 2019
9 A Novel Method for MEMS Wafer-Level Packaging: Selective and Rapid Induction Heating for Copper-Tin SLID Bonding Hofmann, Christian* et al. 2019
10 Assessment of FOWLP process dependent wafer warpage using parametric FE study Gadhiya, Ghanshyam et al. 2019
11 Beschleunigungssensoren mit großer Bandbreite und geringer Leistungsaufnahme für industrielle Anwendungen Forke, Roman et al. 2019
12 Characterisation of MOS Transistors as an Electromechanical Transducer for Stress Hafez, Nessma Ibrahim Kamel* et al. 2019
13 Characterization of H-field Probes regarding Unwanted Field Suppression using Different Calibration Structures Schröder, Dominik et al. 2019
14 Electrically Controlled Actuation of Strained Nanomembranes Enderlein, Tom* et al. 2019
15 Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von Silizium-Einzellagen mittels Atomlagenätzen Dittmar, Nils A. et al. 2019
16 Entwicklung und Integration von folienbasierten Sensoren für Belastungsdetektion Baumann, Reinhard et al. 2019
17 Entwicklung von Entwurfs- und Analysemethoden für integrierte Heizfunktionalitäten in bioanalytischen Systemen Streit, Petra 2019
18 Fabrication of Nano Porous Gold towards Wafer Level Packaging Hertel, Silvia et al. 2019
19 Go Beyond 4.0” Lighthouse Project Otto, Thomas et al. 2019
20 Inductive Locating Method to Locate Miniaturized Wireless Sensors within Inhomogeneous Dielectrics Lange, Sven et al. 2019
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