Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Kurth, Steffen ; Meinig, Marco ; Wecker, Julia ; Seifert, Mario ; Hiller, Karla ; Otto, Thomas
A MEMS IR optical chopper based on subwavelength structures
Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
URL/URN: | doi:10.1117/12.2519068 | |
Quelle: | SPIE Defense + Commercial Sensing, Micro- and Nanotechnology Sensors, Systems and Applications XI, 2019 May 13, Baltimore (USA), 2019, 109823A | |
Freie Schlagwörter (Englisch): | Fabry-Pérot (FP) , Surface-plasmon-polariton (SPP) |