Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Helke, Christian ; Hiller, Karla ; Seiler, Jan ; Werner, Thomas ; Meinig, Marco ; Kurth, Steffen ; Otto, Thomas
VIS Fabry-Pérot Interferometer with structured (TiO2/PE-SiO2)³ Bragg-reflectors on 5mm large LP-Si3N4 membranes
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Smart Systems Integration | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| DOI: | doi:10.1117/12.2509170 | |
| Quelle: | SPIE Photonics West - MOEMS and Miniaturized Systems XVIII, 2019 Feb 2-7, San Francisco (USA), 1-8. - SPIE Proceedings, 2019. - 10931 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Fabry-Pérot Interferometers , (TiO2/SiO2)3 , LP-Si3N4 membrane |
