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Universitätsbibliographie | Universitätsbibliothek | TU Chemnitz

Ergebnis der Datenbankabfrage

Nr.	Titel	Autor	Jahr
1	AIM Technology and Devices – from Basic Research to Industrial Proven MEMS Platform	Bertz, Andreas et al.	2014
2	Highly Reliable and Low Voltage Actuated Ohmic RF MEMS Switch with Wafer Level Packaging	Kurth, Steffen et al.	2013
3	FIB/SEM Analysis for Smart Systems Integration	Waechtler, Thomas et al.	2012
4	Micro arc welding for electrode gap reduction of high aspect ratio microstructures	Nowack, Markus et al.	2012
5	Out of plane capacitive transducer in air gap insulation microstructures technology for high precision monolithic 3-axis sensors	Reuter, Danny et al.	2012
6	Autarkes Sensornetzwerk zur Überwachung von Hochspannungsleitungen	Voigt, Sven et al.	2011
7	HF-MEMS Schalter mit ohmschen Kontakt und lateraler Bewegungsrichtung	Leidich, Stefan et al.	2011
8	Kapazitiver MEMS-Mischer und Signalfilter für wake up receiver	Kurth, Steffen et al.	2011
9	Lokales Mikroschweißen als post-process Technologie zur permanenten Reduzierung des Elektrodenabstandes von HARMS	Nowack, Markus et al.	2011
10	Novel Post-Process Gap Reduction Technology of High Aspect Ratio Microstructures Utilizing Micro Welding	Nowack, Markus et al.	2011
11	Reliability enhancement of Ohmic RF MEMS switches	Kurth, Steffen et al.	2011
12	REM/FIB-Analytik für die Smart Systems Integration	Waechtler, Thomas et al.	2011
13	A fast and low actuation voltage MEMS switch for mm-wave and its integration	Akiba, A. et al.	2010
14	A Novel Three-Axis AIM Vibration Sensor for High Accuracy Condition Monitoring	Nowack, Markus* et al.	2010
15	THIN FILM ENCAPSULATION OF MICROSTRUCTURES USING SACRIFICIALCF-POLYMER	Reuter, Danny et al.	2007
16	Wafer-Level Active Testing of Capacitive Inertial Sensors	Nowack, Markus et al.	2007

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