Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Nowack, Markus ;
Reuter, Danny ;
Rennau, Michael ;
Bertz, Andreas ;
Geßner, Thomas
Michel, Bernd
Wafer-Level Active Testing of Capacitive Inertial Sensors
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Weitere Publikation (u.a. Rezension, Lexikonbeitrag), referiert | |
| ISBN/ISSN: | ISSN 1619-2486 | |
| Quelle: | MicroNanoReliability 2007 : Micromaterials and Nanomaterials. - Berlin : Selbstverlag, 2007, S. 175 |
