Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Reuter, Danny ; Bertz, Andreas ; Nowack, Markus ; Werner, Thomas ; Geßner, Thomas
THIN FILM ENCAPSULATION OF MICROSTRUCTURES USING SACRIFICIALCF-POLYMER
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Weitere Publikation (u.a. Rezension, Lexikonbeitrag), nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1-4244-0841-5 | |
| Quelle: | Transducers 07 : Digest of Technical Papers. - Lyon : IEEE, 2007, S. 343 - 346 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | wafer-level packaging , thin film packaging , HARMS , CF-polymer |
