Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Waechtler, Thomas ; Auerswald, Ellen ; Hoebelt, Iris ; Nowack, Markus ; Noack, Elke ; Gollhardt, A. ; Vogel, D. ; Michel, Bernd ; Schulz, Stefan E. ; Gessner, Thomas
REM/FIB-Analytik für die Smart Systems Integration
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| URL/URN: | http://www.zeiss.de/C1256E4600305472/Contents-Frame/283815A9B6B721BEC12578930045882F | |
| Quelle: | ZEISS CrossBeam Workshop, Jena (Germany), 2011 May 3-4 |
