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Nr. Titel Autor Jahr
1 Fabrication of switchable biocompatible, nano-fluidic devices using a thermoresponsive polymer on nano-patterned surfaces Bickmann, Christopher* et al. 2024
2 Impact of Dielectric Types on Surface Topography for Wafer-Level Hybrid Bonding Dubey, Vikas* et al. 2024
3 Navigating Complex Process and Design Challenges in Hybrid Bonding for Advanced Semiconductor Integration: A Comprehensive Analysis Dubey, Vikas* et al. 2024
4 Process Development of Aluminum Electroplating from an Ionic Liquid on 150 mm Wafer Level Braun, Silvia* et al. 2024
5 Alkaline earth metal and lanthanide ethylene glycol carboxylates for metal oxide layer formation by spin coating Scharf, Sebastian et al. 2023
6 Development of a Cobalt Atomic Layer Deposition Process using Co2(CO)6HC=CC5H11 as Precursor Franz, Mathias* et al. 2023
7 Fabrication of local areas of high aspect ratio silicon structures using metal-assisted chemical etching Franz, Mathias et al. 2023
8 Fabrication of local areas of high aspect ratio silicon structures using metal-assisted chemical etching - MACE Franz, Mathias et al. 2023
9 Impact of Dielectric and Copper Via Design on Wafer-to-Wafer Hybrid Bonding Dubey, Vikas* et al. 2023
10 Low temperature atomic layer deposition of cobalt using dicobalt hexacarbonyl-1-heptyne as precursor Franz, Mathias* et al. 2023
11 Nanolithographic Fabrication Technologies for Network-Based Biocomputation Devices Meinecke, Christoph R.* et al. 2023
12 Biocomputation Using Molecular Agents Moving in Microfluidic Channel Networks: An Alternative Platform for Information Technology Blaudeck, Thomas* et al. 2022
13 Integration von thermosensitiven Polymeren in nanoskalige Kanäle zur Realisierung von mikrofluidischen Schaltungen Bickmann, Ch. et al. 2022
14 Modeling the temporal evolution and stability of thin evaporating films for wafer surface processing Huber, Max* et al. 2022
15 Berechnung mit biologischen Molekülen - ein alternativer Ansatz in Informationstechnologien Blaudeck, Thomas et al. 2021
16 Bridging the gap: Perspectives of nanofabrication technologies for application-oriented research Baum, Mario* et al. 2021
17 Disorder explains dual-band reflection spectrum in spherical colloidal photonic supraparticle assemblies Kuhn, Eduard et al. 2021
18 Front Cover: Nano Select 12 /2021 zu https://doi.org/10.1002/nano.202100263 Kuhn, Eduard et al. 2021
19 Graphene-Based Conductor Materials: Assessment of the Electrical Conductivity Rizzi, Leo 2021
20 Laser induced crystallization of Co–Fe–B films Almeida, Maria* et al. 2021
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