Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Huber, Max* ; Hu, Xiao ; Zienert, Andreas ; Schuster, Jörg ; Schulz, Stefan E.
Modeling the temporal evolution and stability of thin evaporating films for wafer surface processing
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Online ISSN 1089-7690 ; Print ISSN 0021-9606 | |
| DOI: | doi:10.1063/5.0097409 | |
| URL/URN: | https://pubs.aip.org/aip/jcp/article/157/8/084706/2841926/Modeling-the-temporal-evolution-and-stability-of | |
| Quelle: | In: The Journal of Chemical Physics. - AIP Publishing. - 157. 2024, 8 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Dichtefunktionaltheorie , Dünne Schichten , Computersimulation , Diffusion , Adsorption , Trennungsdruck , Luft-Wasser-Grenzfläche | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Density functional theory , Thin films , Computer simulation , Diffusion , Adsorption , Disjoining pressure , Air-water interface | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
