Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Franz, Mathias ; Junghans, Romy ; Schulz, Stefan E.
Fabrication of local areas of high aspect ratio silicon structures using metal-assisted chemical etching - MACE
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Poster | |
| DOI: | doi:10.5281/zenodo.8016929 | |
| URL/URN: | https://zenodo.org/records/8016929 | |
| Quelle: | MACE. 2023 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) & IEEE Materials for Advanced Metallization Conference (MAM), 2023 May 22-25, Dresden (Germany), 2023 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Black Silicon , MACE , metal-assisted chemical etching | |
| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
