Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Haas, Sven ; Schramm,M. ; Loebel, K.-U. ; Heinz, Steffen ; Reuter, Danny ; Bertz, Andreas ; Horstmann, J.-T. ; Gessner, Thomas
Studies on the piezoresistive effect in MOS transistors for use in integrated MEMS sensors
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Institut 3: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-3490-0 | |
| Quelle: | Smart Systems Integration, Amsterdam (NL), 2013 Mar 13-14, 2013. - Berlin: VDE-Verlag, 2013. - CD-ROM | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | piezoresistive , MOS transistor , MEMS sensor |
