Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Meinecke, Christoph R. ; Bertz, Andreas ; Dittrich, C. ; Schunke, S. ; Kreutziger, P. ; Gessner, Thomas
Technologieentwicklung, Herstellung und Charakterisierung von hochauflösenden Inertialsystemen
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-00-047625-9 | |
| Quelle: | 12. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik - Mikromechanik & Mikroelektronik, Chemnitz (Germany), 2014 Oct 21-22; Proceedings, pp 108-112 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | hochauflösende Inertialsysteme |
