Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Köhler, Daniel ; Konietzka, Stefan ; Pohle, Alexander ; Heinz, Steffen ; Lange, André ; Forke, Roman ; Billep, Detlef ; Hiller, Karla
Development and Characterization of a High Precision Vibratory MEMS Gyroscope with Low-noise integrated Readout and Control Electronics
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Professur Elektronische Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-9813484-4-6 | |
| URL/URN: | doi:10.5162/IMCS2012/P3.1 | |
| Quelle: | AMA Conferences SENSOR 2013, 16th International Conference on Sensors and Measurement Technology, 14 – 16 May 2013, Nürnberg, pp. 736 - 738, 2013 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS vibratory gyroscope, readout electronics, aF detection |
