Ergebnis der Datenbankabfrage
| Nr. | Titel | Autor | Jahr |
|---|---|---|---|
| 1 | A monolithic integrated MEMS in a 350nm technology for filter monitoring applications | Heinz, Steffen et al. | 2013 |
| 2 | Development and Characterization of a High Precision Vibratory MEMS Gyroscope with Low-noise integrated Readout and Control Electronics | Köhler, Daniel et al. | 2013 |
| 3 | A monolithic integrated MEMS in a 350 nm technology for filter monitoring applications | Neubert, Marco et al. | 2012 |
| 4 | Combining CMOS and MEMS technologies in a monolithic system for observing filter pollutions | Heinz, Steffen et al. | 2011 |
| 5 | Hochpräzise integrierte Sensorsignalverarbeitung zur Anregung, Kalibrierung und Auswertung von MEMS-Gyroskopen | Köhler, Daniel et al. | 2010 |
| Anzahl der Ergebnisseiten: | 1 |
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