Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Koehler, Daniel ; Hiller, Karla ; Forke, Roman ; Konietzka, S. ; Pohle, A. ; Billep, Detlef ; Heinz, Steffen ; Lange, André
Development and characterization of a high precision vibratory MEMS gyroscope system with low-noise integrated readout and control electronics
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-9813484-3-9 | |
| URL/URN: | doi:10.5162/IMCS2012/P3.1 | |
| Quelle: | AMA Conferences 2013 (SENSOR), Nürnberg (Germany), 2013 May 14-16; Proceedings SENSOR 2013, P3 - Technology (2013) pp 736-738 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | MEMS vibratory gyroscope |
