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Universitätsbibliothek
Universitätsbibliographie

Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Freitag, Markus* ; Sauppe, Matthias* ; Auerswald, Christian ; Kriebel, David ; Schmidt, Henry ; Voigt, Sebastian ; Arnold, Benjamin ; Markert, Erik ; Hahn, Susann ; Hiller, Karla ; Heinkel, Ulrich ; Mehner, Jan
Zahn, Dietrich R. T.; Schulz, Stefan E.; Hiller, Karla; Wagner, Christian; Reuter, Danny; Otto, Thomas (Eds.)

Design, Modeling, Fabrication, and Verification of New Multifunctional MEMS/NEMS Components


Universität: Technische Universität Chemnitz
Institut 1: Professur Mikrosysteme und Medizintechnik
Institut 2: Professur Schaltkreis- und Systementwurf
Institut 3: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: 1862-6319
DOI: doi:10.1002/pssa.201800831
URL/URN: https://doi.org/10.1002/pssa.201800831
Quelle: In: physica status solidi (a). - Wiley Online Library, WILEY‐VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim. - 216. 2019, 19, S. 1800831
Freie Schlagwörter (Englisch): gap reduction , micromechanical bandpass , microelectromechanical step-up converter , VHDL

 

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