Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Freitag, Markus* ;
Sauppe, Matthias* ;
Auerswald, Christian ;
Kriebel, David ;
Schmidt, Henry ;
Voigt, Sebastian ;
Arnold, Benjamin ;
Markert, Erik ;
Hahn, Susann ;
Hiller, Karla ;
Heinkel, Ulrich ;
Mehner, Jan
Zahn, Dietrich R. T.; Schulz, Stefan E.; Hiller, Karla; Wagner, Christian; Reuter, Danny; Otto, Thomas (Eds.)
Design, Modeling, Fabrication, and Verification of New Multifunctional MEMS/NEMS Components
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Mikrosysteme und Medizintechnik | |
| Institut 2: | Professur Schaltkreis- und Systementwurf | |
| Institut 3: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1862-6319 | |
| DOI: | doi:10.1002/pssa.201800831 | |
| URL/URN: | https://doi.org/10.1002/pssa.201800831 | |
| Quelle: | In: physica status solidi (a). - Wiley Online Library, WILEY‐VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim. - 216. 2019, 19, S. 1800831 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | gap reduction , micromechanical bandpass , microelectromechanical step-up converter , VHDL |
