Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Hofmann, Christian* ;
Kroll, Martin ;
Panhale, Sushant ;
Wiemer, Maik ;
Kunke, Andreas ;
Hiller, Karla ;
Kuhn, Harald
Adly, Amr
Inductive Heating Based on VHF-ISM Radio Band Frequencies as Technology Platform for Efficient Heating of Metallic Micro-Scaled Bonding Layers in MEMS Packaging
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Förderung: | Sonstiges | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Professur Umformtechnik | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Print ISSN: 0018-9464 ; Electronic ISSN: 1941-0069 | |
| DOI: | doi:10.1109/TMAG.2023.3286208 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/document/10153084 | |
| Quelle: | In: IEEE Transactions on Magnetics (November 2023), Article Sequence Number: 2800905. - Cairo University Giza, Egypt : IEEE. - 59. 2023, 11, S. 1 - 5 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | Elektromagnetische (EM) Induktion , Elektronikverpackung , mikroelektromechanische Systeme (MEMS) , Hochfrequenz , selektive Erwärmung | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | Electromagnetic (EM) induction , electronics packaging , microelectromechanical systems (MEMS) , radio frequency , selective heating | |
Bemerkung: |
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| OA-Lizenz | CC BY 4.0 |
