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Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz


Hofmann, Christian* ; Kroll, Martin ; Panhale, Sushant ; Wiemer, Maik ; Kunke, Andreas ; Hiller, Karla ; Kuhn, Harald
Adly, Amr

Inductive Heating Based on VHF-ISM Radio Band Frequencies as Technology Platform for Efficient Heating of Metallic Micro-Scaled Bonding Layers in MEMS Packaging


Universität: Technische Universität Chemnitz
Förderung: Sonstiges
Institut 1: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
Institut 2: Professur Umformtechnik
Dokumentart: Artikel in Fachzeitschrift, referiert
ISBN/ISSN: Print ISSN: 0018-9464 ; Electronic ISSN: 1941-0069
DOI: doi:10.1109/TMAG.2023.3286208
URL/URN: https://ieeexplore.ieee.org/document/10153084
Quelle: In: IEEE Transactions on Magnetics (November 2023), Article Sequence Number: 2800905. - Cairo University Giza, Egypt : IEEE. - 59. 2023, 11, S. 1 - 5
Freie Schlagwörter (Deutsch): Elektromagnetische (EM) Induktion , Elektronikverpackung , mikroelektromechanische Systeme (MEMS) , Hochfrequenz , selektive Erwärmung
Freie Schlagwörter (Englisch): Electromagnetic (EM) induction , electronics packaging , microelectromechanical systems (MEMS) , radio frequency , selective heating

Bemerkung:

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OA-Lizenz CC BY 4.0

 

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