Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Dittmar, Nils A. ; Küchler, Matthias ; Meinecke, Christoph R. ; Reuter, Danny ; Otto, Thomas
Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von Silizium-Einzellagen mittels Atomlagenätzen
Developing a process to remove single silicon layers by atomic layer etching
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Professur Smart Systems Integration | |
| Institut 2: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, nicht referiert | |
| ISBN/ISSN: | 978-3-8007-5090-0 , 978-3-8007-5129-7 | |
| Quelle: | MikroSystemTechnik Kongress, 2019 Okt 28.-30., Berlin (Germany), S. 585-588. - VDE-Verlag Berlin/Offenbach, 2019 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | remove single silicon layers , atomic layer etching |
