Ergebnis der Datenbankabfrage
| Nr. | Titel | Autor | Jahr |
|---|---|---|---|
| 1 | Combining nano-scale imprint lithography and reactive ion etching to fabricate high-quality surface relief gratings | Haase, Micha et al. | 2024 |
| 2 | Scalable fabrication approach and fill factor optimization for single pixel microlens arrays | Bonitz, Jens* et al. | 2024 |
| 3 | Impact of Dielectric and Copper Via Design on Wafer-to-Wafer Hybrid Bonding | Dubey, Vikas* et al. | 2023 |
| 4 | Measuring Ion Energy Distributions by Retarding Field Energy Analyzer and Using Low-Energy Ions for Si-ALE by Cl2 | Dittmar, Nils et al. | 2023 |
| 5 | Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von Silizium-Einzellagen mittels Atomlagenätzen | Dittmar, Nils A. et al. | 2019 |
| 6 | Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von SiO2-Monolagen mittels Fluorkohlenstoff | Dittmar, Nils et al. | 2018 |
| Anzahl der Ergebnisseiten: | 1 |
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