Ergebnis der Datenbankabfrage
Nr. | Titel | Autor | Jahr |
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1 | Impact of Dielectric and Copper Via Design on Wafer-to-Wafer Hybrid Bonding | Dubey, Vikas* et al. | 2023 |
2 | Measuring Ion Energy Distributions by Retarding Field Energy Analyzer and Using Low-Energy Ions for Si-ALE by Cl2 | Dittmar, Nils et al. | 2023 |
3 | Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von Silizium-Einzellagen mittels Atomlagenätzen | Dittmar, Nils A. et al. | 2019 |
4 | Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von SiO2-Monolagen mittels Fluorkohlenstoff | Dittmar, Nils et al. | 2018 |
Anzahl der Ergebnisseiten: | 1 |
Anzahl der Dokumente: | 4 |