Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Stoeckel, Chris ; Mulay, Shubham ; Meinel, Katja ; Bankwitz, Jörn ; Seiler, Jan ; Ullmann, Dirk ; Reuter, Danny
Technology for Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers with Adaptive Channel Geometry and Chip Size
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Dokumentart: | Konferenzbeitrag, referiert | |
| ISBN/ISSN: | Electronic ISBN: 979-8-3503-7190-1 ; Print on Demand(PoD) ISBN: 979-8-3503-7191-8 ; Electronic ISSN: 2375-0448 ; Print on Demand(PoD) ISSN: 1099-4734 | |
| DOI: | doi:10.1109/UFFC-JS60046.2024.10793711 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=10793711 | |
| Quelle: | 2024 IEEE Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium (UFFC-JS), 2024 Sep 22-24, Taipei (Taiwan). - IEEE Xplore, 2024 | |
| Freie Schlagwörter (Deutsch): | PMUT , Aluminiumnitrid , AIN , Kanalgeometrie , Geometrie , Ultraschallwandler , Akustik , Draht , Frequenzregelung , Aluminiumnitrid | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | PMUT , aluminum nitride , AIN , channel geometry , Geometry , Ultrasonic transducers , Acoustics , Wire , Frequency control , Aluminum nitride |
