Ergebnis der Datenbankabfrage
| Nr. | Titel | Autor | Jahr |
|---|---|---|---|
| 1 | 2D Scanning Micromirror with Large Scan Angle and Monolithically Integrated Angle Sensors Based On Piezoelectric Thin Film Aluminum Nitride | Meinel, Katja* et al. | 2020 |
| 2 | Abschlussbericht ESF Nachwuchsforschergruppe E-PISA : Energieautarke, drahtlose piezoelektrische MEMS Sensoren und Aktoren in der Medizintechnik und Industrie 4.0 | Böttger, Simon et al. | 2020 |
| 3 | Piezoelectric scanning micromirror with built-in sensors based on thin film aluminum nitride | Meinel, Katja et al. | 2020 |
| 4 | Piezoelectric scanning micromirror with built-in sensors based on thin film aluminum nitride | Meinel, Katja et al. | 2019 |
| 5 | Piezoelectric Scanning Micromirror with Large Scan Angle Based on Thin Film Aluminum Nitride | Meinel, Katja et al. | 2019 |
| 6 | Piezoelektrischer Mikrospiegel mit großem Scanwinkel, basierend auf Dünnschicht-Aluminiumnitrid | Meinel, Katja et al. | 2019 |
| 7 | Thin Film Piezoelectric Aluminum Nitride for Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers | Stöckel, Chris et al. | 2018 |
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