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Universitätsbibliographie | Universitätsbibliothek | TU Chemnitz

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Nr.	Titel	Autor	Jahr
1	Technology for Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers with Adaptive Channel Geometry and Chip Size	Stoeckel, Chris et al.	2024
2	MEMS-Based Fingerprinting Architecture for Trustworthy Electronics	Meinel, Katja et al.	2023
3	MEMS-basierte Fingerprint-Architektur für Vertrauenswürdige Elektronik	Schott, Christian et al.	2022
4	Static High Voltage Actuation of Piezoelectric AlN and AlScN Based Scanning Micromirrors	Stöckel, Chris* et al.	2022
5	Design and technology for uniform aluminum nitride piezoelectric micromachined ultrasonic transducers with radial array	Stöckel, Chris et al.	2021
6	Piezoelectric Scanning Micromirror With Built-In Sensors Based on Thin Film Aluminum Nitride	Meinel, Katja* et al.	2021
7	Pressure Sensor Catheter based on Micromachined Aluminum Nitride Membrane Fiber Tip Fabry-Pérot-Interferometer	Friedemann, Marvin* et al.	2021
8	Pressure Sensor Catheter based on piezoelectric actuated Aluminum Nitride Membrane and Fiber Tip Fabry-Pérot-Interferometer	Friedemann, Marvin* et al.	2021
9	2D Scanning Micromirror with Large Scan Angle and Monolithically Integrated Angle Sensors Based On Piezoelectric Thin Film Aluminum Nitride	Meinel, Katja* et al.	2020
10	Abschlussbericht ESF Nachwuchsforschergruppe E-PISA : Energieautarke, drahtlose piezoelektrische MEMS Sensoren und Aktoren in der Medizintechnik und Industrie 4.0	Böttger, Simon et al.	2020
11	Piezoelectric scanning micromirror with built-in sensors based on thin film aluminum nitride	Meinel, Katja et al.	2020
12	Piezoelectric scanning micromirror with built-in sensors based on thin film aluminum nitride	Meinel, Katja et al.	2019
13	Piezoelectric Scanning Micromirror with Large Scan Angle Based on Thin Film Aluminum Nitride	Meinel, Katja et al.	2019
14	Piezoelektrischer Mikrospiegel mit großem Scanwinkel, basierend auf Dünnschicht-Aluminiumnitrid	Meinel, Katja et al.	2019
15	Thin Film Piezoelectric Aluminum Nitride for Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers	Stöckel, Chris et al.	2018

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