Eintrag in der Universitätsbibliographie der TU Chemnitz
Meinel, Katja* ; Stöckel, Chris ; Melzer, Marcel ; Zimmermann, Sven ; Forke, Roman ; Hiller, Karla ; Otto, Thomas
Piezoelectric Scanning Micromirror With Built-In Sensors Based on Thin Film Aluminum Nitride
| Universität: | Technische Universität Chemnitz | |
| Institut 1: | Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) | |
| Institut 2: | Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Allgemein | |
| Institut 3: | Professur Smart Systems Integration | |
| Dokumentart: | Artikel in Fachzeitschrift, referiert | |
| ISBN/ISSN: | 1530-437X ; 1558-1748, ; 2379-9153 | |
| DOI: | doi:10.1109/JSEN.2020.2997873 | |
| URL/URN: | https://ieeexplore.ieee.org/stamp/stamp.jsp?tp=&arnumber=9099788 | |
| Quelle: | In: IEEE Sensors Journal. - IEEE. - 21. 2021, 8, S. 9682 - 9689, 20576058 | |
| Freie Schlagwörter (Englisch): | AIN , angle sensor , aluminum nitride , cross-talk compensation , micromirror , microscanner , piezoelectric , Micromirrors , Aluminum nitride , III-V semiconductor materials , Actuators , Sensor phenomena and characterization , Optical sensors | |
Bemerkung: |
_MA!N_ |
